JKZC-P63.X7一維X向高分辨率壓電納米定位臺 6.8μm

產品介紹：

JKZC-P63.X直驅壓電平移臺，是一維X軸運動高分辨率壓電納米定位臺，采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度，具有非常高的可靠性，壓精密定位領域中發(fā)揮著重要的作用。

產品特點：

1、 1~3維自由組合     2、位移行程6.8μm              3、亞毫秒響應時間

4、承載0.8kg         5、重復定位精度可達納米級      6、真空版本可選

快速響應、可選閉環(huán)傳感

JKZC-P63 系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為 AFM、SPM、STM 等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有超低慣性，響應時間可達 0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率高速掃描。

應用實例：納米切削

JKZC-P63系列三維壓電納米定位臺已廣泛應用于基于SEM在線納米切削平臺的切削力測試實驗中。

產品應用：

1、光纖端面檢測       2、納米壓印        3、 納米計量       4、微操控       5、納米光刻 

6、干涉法/ 掃描顯微/納米定位         7、生物技術/半導體技術       8、質量保證測試

JKZC-P63系列產品

技術參數(shù)：

*立式方向安裝時，其負載上限取決于具體安裝方向。

尺寸圖