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廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家更新時(shí)間
2026-08-06訪問量
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,道路/軌道/船舶,綜合,機(jī)械設(shè)備 |
JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)
產(chǎn)品介紹：
JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，在X軸可實(shí)現(xiàn)達(dá)200μm的位移，可配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。平臺(tái)可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動(dòng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、一維X向運(yùn)動(dòng) 2、行程可達(dá)200μm 3、開/閉環(huán)可選
4、真空版本可選 5、可組多維使用
典型應(yīng)用：
1、SPM掃描顯微鏡 2、掩模/晶圓定位 3、表面結(jié)構(gòu)分析
4、生物技術(shù) 5、干涉 6、計(jì)量
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | JKZC60.X200S | JKZC60.X200K | 單位 | ||
運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X | ||||
驅(qū)動(dòng)控制 | 1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感 | 1路驅(qū)動(dòng) | ||||
標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 160 | 160 | μm±10% | |||
Max.行程范圍（0~150V） | 200 | 200 | μm±10% | |||
傳感器 | SGS | - | ||||
閉/開環(huán)分辨率 | 7 | 0.2 | nm | |||
閉環(huán)線性度 | 0.02 | - | %F.S. | |||
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.01 | - | %F.S. | |||
俯仰/偏航/滾動(dòng) | ＜15 | ＜15 | μrad | |||
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 50@20μm，1300g | 30 | ms±20% | |||
空載諧振頻率 | 370 | 370 | Hz±20% | |||
帶載諧振頻率@1300g | 120 | 120 | Hz±20% | |||
靜電容量 | 10.8 | 10.8 | μF±20% | |||
工作溫度范圍 | -20~80 | -20~80 | ℃ | |||
承載能力 | 水平安裝 | 5 | 5 | kg | ||
立式安裝 | 3 | 3 | ||||
倒置安裝 | 5 | 5 | ||||
材質(zhì) | 不銹鋼、鋁合金 | 不銹鋼、鋁合金 | ||||
重量 | 630 | 630 | g±5% | |||
安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 | |||
釋義 | 將PZT平臺(tái)水平放置安裝，運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺(tái)的上方，運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向 | 將PZT平臺(tái)立式放置安裝，運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對(duì)應(yīng)承載 | 將PZT平臺(tái)水平放置，但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺(tái)的下方 | |||
示意圖 | | | | |||
備注 | 當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí)，需注意出線口 | |||||
尺寸圖
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當(dāng)前位置：
