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廠商性質(zhì)
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2017-10-23
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+2016-07-08
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
小型程控蒸發(fā)鍍膜儀JKZC-DM1700是一款小型臺(tái)式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀，可以設(shè)定程序，精確控制溫度200℃～1500℃（或者1200℃～1700℃），樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· φ6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品
· 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，且樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻
· 樣品臺(tái)與蒸發(fā)源之間的距離可調(diào)
· 氣體流量端口和閥門(mén)內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實(shí)驗(yàn)
基本參數(shù)：
· 電源：208V-240V，50/60HZ
· 功率：＜1.5KW
· 最高加熱溫度：≤1500℃
真空腔室：
· 材質(zhì)：高純石英
· 尺寸：外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L250mm
· 密封法蘭: 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封
· 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上
· 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體
· 真空度：<7.5×10-2 Torr （采用雙極旋片真空泵）,<5×10-3 torr （采用渦旋分子泵）
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